安川中空伺服電機在半導體行業的應用

隨著信息技術的高速發展，半導體產業日益成為全球最重要的產業之一。目前，半導體設備的國產化需求急劇上升，得益于半導體行業的蓬勃發展和國家政策的支持。在此大背景下，安川電機深入對半導體設備和工藝的研究，致力于為客戶提供優質的解決方案。

而清洗工藝貫穿于晶圓制造的整個過程，是保證良品率的關鍵之一。清洗工藝的好壞不僅影響表面的潔凈度，還會對芯片的電學性能、穩定性等產生直接影響。
清洗工藝傳統的結構圖：

解決方案：

 
1、空間優化：
以往的結構是伺服通過皮帶輪裝置連接中空軸，結構相對復雜，占據空間。通過采用中空伺服電機，可簡化機械結構以實現節省空間的目的。

2、粉塵減少
中空部的轉動軸采用不銹鋼，并選用低發塵規格的特殊潤滑脂，有效地減少了粉塵的發生。

3、高速高精度
搭載了24bit高分辨率編碼器，其中SGM7T-08A最大速度可達3000min-1。

中空電機的規格：

綜上，安川中空伺服電機通過結構創新與性能優化，為半導體制造提供了高效、潔凈、穩定的驅動解決方案，助力行業突破精密制造瓶頸，加速國產化進程。